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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：加熱型勻膠機

  • 產(chǎn)品型號：CY-SPC8-SS
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
本加熱型勻膠機主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。本加熱型勻膠機的工作腔體為聚四氟（塑料王）材質(zhì)，它是由四氟乙烯經(jīng)聚合而成的高分子化合物，具有優(yōu)良的化學穩(wěn)定性和極強的耐腐蝕性，已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。本加熱型勻膠機內(nèi)安裝有真空數(shù)字傳感器，涂敷過程中可實時檢測系統(tǒng)真空度，控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障：可靠吸片并杜絕飛片事故的發(fā)生。
詳情介紹：
加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀采用全鋁合金腔體，美觀堅固。儀器采用先進的精密電機，轉(zhuǎn)速能達到10000轉(zhuǎn)/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程完全可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。 加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀 加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。

加熱型旋轉(zhuǎn)涂覆儀技術參數(shù)：

項目

明細

旋涂儀

供電電壓

AC220V，50Hz

轉(zhuǎn)速

0~10000rpm

加速度

100~5000rpm/s

轉(zhuǎn)速分辨率

1rpm

單步時間

3000s

基片尺寸

直徑≤8英寸（200mm）

腔體材質(zhì)

鋁合金

加熱溫度

≤200℃

控溫方式

AIP智能控溫

操作方式

7寸高清LCD觸控屏

滴膠方式

手動滴膠，可選購精密注射泵

勻膠曲線

每條曲線5段，共可儲存5條曲線

抽氣接口

φ6mm 快擰接口

 整機尺寸

290mm×365mm×300mm

 整機重量

12kg

排氣系統(tǒng)

真空泵

干式機械泵

抽氣速率

50L/min

供電電源

AC220V  50/60Hz





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