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本產品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺、電控系統(tǒng)等組成 ,爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設備臺架上,使整個設備成為一體,爐架下安裝有水平調節(jié)輪、不但可以自由的拖動,并有調節(jié)水平的功能。
1、爐體:為全304不銹鋼結構,氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結構,保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結構,爐蓋打開方式為手動,并加有鎖緊裝置,爐蓋上設有觀察孔,方便觀察爐內情況。爐體上安裝有進出氣口、與水冷機連接的進出水口和安裝有連接爐體內澆注裝置的進出水管。
2、爐架:由型鋼鋼板組焊成柜架結構,爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購測溫元件時):溫控系統(tǒng)是由測溫系統(tǒng),溫控儀表組成,爐體上配有紅外測溫儀,把紅外測溫儀輸出的1-5V信號通過控溫儀表轉換為溫度信號,控溫儀表可以控制感應爐的輸出功率,這樣形成一個閉合回路,可以對爐子的升溫進行編程控制,可以進行50段程序控溫,控溫精度準確,升溫速率可調,并可以進行恒溫,以方便控制澆鑄時的溫度控制。
應用范圍 :
廣泛應用于大專院校及科研單位等在真空或保護氣氛條件下晶體的生長。
詳細技術參數:
空 感 應 熔 煉 爐
|
型號 |
CYKY-IMC-1 |
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ZUI大熔煉重量(按鐵液計算) |
1Kg |
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ZUI高加熱溫度 |
2100度 |
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高頻加熱電源 |
采用電源 |
高頻感應電源 |
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振蕩頻率 |
30-80KHZ |
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ZUI大輸入功率 |
35KW |
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加熱電流 |
12-70A |
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冷卻水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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電源重量 |
35KG |
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負載持續(xù)率 |
100% |
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輸入電壓 |
三相380V 50或60HZ |
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加熱方式 |
感應加熱 |
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腔體內直徑 |
500mm |
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腔體真空度(分子泵機組) |
< 8X10 -4Pa |
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腔體充氣壓力 |
< 0.05MPa |
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升壓率 |
<4Pa/小時 |
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控溫模式 |
智能PID |
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控制精度 |
+/- 1~ 5 ℃(600度以上) |
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溫度檢測方式 |
B型熱電偶和紅外測溫儀相結合。溫度超過1800度,熱電偶退出,用紅外測溫儀測溫。 B型熱電偶的測量范圍:0-1800℃ 紅外測溫儀的測量范圍:1000-3200℃ |
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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真空機組
|
機組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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前級機械泵FX-32
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功率 |
1.2KW |
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電壓 |
380V |
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轉速 |
1450rpm |
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進氣口徑 |
KF40 |
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前機泵抽氣速率(L/S) |
8 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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復合真空計
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復合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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二級泵 為分子泵 (方案一) |
分子泵 (可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa) |
分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S(對空氣) |
600 |
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分子泵極限壓強(Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓(MPa) |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強 |
<100Pa |
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二級泵為擴散泵
(方案二) |
擴散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa) |
電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度(在無泄露時) |
10E-5Pa |
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進氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率(N2) |
1000L/S |
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水冷機(選購)
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型號 |
HZ-03A |
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ZUI大揚程 |
38M |
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制冷量 |
7.224*103kcal/h |
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水箱容量 |
60L |
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輸入總功率 |
3.2KW |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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機器尺寸 |
520X1150X1145(長X寬X高) |
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